Der Excimer-Laser wurde 1975 erstmals industriell eingesetzt. Das Wort Excimer ist ein Kunstwort und wird zusammengezogen aus excited (erregt) und dimer (Molekül).

Zuerst wurde der Excimer Laser nicht für den Einsatz in der Augenheilkunde, sondern für die  Herstellung von Computerchips entwickelt.

Die Beobachtung, dass die mit dem Excimer-Laser durchgeführte Photoablation an Kunststoffmaterial zu keiner thermischen Deformierung führte sowie mit hoher im Mikrobereich liegender Präzision durchführbar war, veranlasste Überlegungen, diese Technik auch an biologischem Material einzusetzen, bis hin zu der Idee, die Hornhaut in gewünschter Form und Weise zu behandeln.

Die Excimer-Laser-Korrektur (PRK “Photorefraktive Keratektomie”) benutzt ultraviolettes, energiereiches Licht um mit einer spezifischen Wellenlänge die zellulären und monekulären Brücken des Hornhautgewebes aufzuspalten und damit in einer vorberechneten Art und Weise die Hornhaut mit einer extrem hohen Präzision zu modellieren.

Der Excimer-Laser arbeitet in einem molekularen Bereich ohne eine thermische Veränderung des umgebenden Gewebes der Hornhaut beobachten zu lassen, diese spezielle Eigenschaft des Excimer-Lasers führt dazu, dass man ihn auch  als “Kaltlaser” bezeichnet.

1984 bestellte Professor Theo Seiler (er gilt als Pionier der refraktiven Chirurgie), seine ersten Excimer-Laser.

1986 war er der erste, der mit diesem Laser Keratektomien an sehenden menschlichen Augen durchführte. Dabei wurde der Laser bei Hornhauterkrankungen (Salzmannsche noduläre Hornhautdegeneration sowie Pterygeum) eingesetzt.

1987 wurden an der Columbia University of New York Excimer-Laser-Keratektomien an einer Serie menschlicher Augen durchgeführt, die zur Enukleation bei malignem Melanom bestimmt waren.

1989 wurde die erste zweiseitige Excimer-Laser-Korrektur bei Kurzsichtigkeit durch Professor Theo Seiler durchgeführt.